所在地

〒２４３－０４０６神奈川県海老名市国分北４－５－２１

TEL　０８０－８０８３－２４０３　

e-mail: [email protected]

ホームペイジ https://www.dry-coating.jp/

資本金　３、５００、０００円　設立　２００３年５月

 

代表取締役

小島啓安

 

取引銀行

三菱UFJ銀行　大和支店　

 

 小島啓安

＊東京都立大学　大学院工学研究科　工業化学専攻　修士課程修了 

＊キャノンでは、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。旭硝子では、建築用、自動車用、電子基板用硝子のスパッタ、イオンプレーティングプロセス、膜開発に従事する。独国　フラウンホーファー研究所の日本への技術移転会社などを経て、２００３年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社アーステック設立。

 　

＊名古屋大学より博士(工学）取得　名古屋大学客員教授

＊TOPページにありますように、２００８年に第１版「現場のスパッタリング薄膜Q&A」を日刊工業新聞社から出版いたしました。ロータリーカソード、プラズマ密度の測定、今後のスパッタ技術の未来、の項を追加し２０１５年に第２版を出版しました。

 

＊スパッタ技術は、構成要素であるカソード、アノード、電源、制御系、ガス導入系などの要素技術の理解が重要ですので、各要素技術別に分解して、機能を解説できたかと思います。

 

＊当初、ディスプレーに関する大面積プラスチックフィルム（特にPET）への透明導電膜、有機ELへの保護膜などへのロールコーターを用いた技術開発及びトラブルシューティングの依頼が多くなりました。

特に保護膜のニーズにこたえるためには、基板の耐熱性が低い場合が多く、かつ酸化物、窒化物の膜厚を考慮すると反応性高速成膜技術が不可欠になりました。低ダメージ、大面積均一膜のニーズです。

 

＊フレキシブル回路基板へのニーズからポリイミド膜へのCu膜作成、品質向上などのテーマがありました。ここで、アーキング防止、コストダウン等のニーズからロータリーカソードへのニーズ、導入が行われ支援を行いました。

他のニーズでは、基板の種類としては、プラスチックフィルムが多かったですが、小型プラスチック基板、ガラス、セラミック、鉄などもあります。

 

＊各種基板（プラスチック樹脂、ガラス、セラミックなど）に対する薄膜の基本である密着性の問題は、コンスタントにあります。基板の洗浄、成膜条件（化学的反応を利用した結合力、物理的なエネルギーを利用した相互反応）、全内部応力の低減（ハードコーティングは、例外です）が基本ですが、意外な装置プロセス上の問題点が見つかる場合も多いです。

 

 

＊スパッタ技術は、モノづくりのキーテクノロジーの一つであると考えています。身近な相談員としてご利用頂ければ幸いです。

 

 

 

マイプロフィール

 

テニス：下手の横好きで続けています。

山　：数年前から、八ヶ岳へ年に1回登山してます。

温泉：癒されますね～。近所の日帰り温泉と伊豆、甲府、河口湖辺りへ行きます。

焼き物：沖縄の壺屋焼、備前焼、少々、あります。

酒：健康に良い程度にビール、焼酎、ワイン、日本酒（燗）飲んでます。

カラオケ：声を出すことは、体に良いということでやっています。

はな：クジャクサボテン、バンダ（蘭の一種）を育て中です。

ことば１：アノネ　がんばんなくてもいいからさ具体的に動くことだね（相沢みつを）

ことば２：しぐるるやしぐるる山へ歩み入る（種田山頭火）

ことば３：前向きにと駐車場にも励まされ（詠み人知らず）