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小島啓安 博士（工学） 名古屋大学 客員教授
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お問い合わせはＥメールまたは電話で： ＴＥＬ080-8083-2403
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スパッタリングプロセスによる薄膜事業の 研究・開発・生産 をサポートします。
長期から短期まで各種コンサルティング業務
- プラスチック,ガラス、金属基板など
- 多品種少量生産、量産装置など
- 金属膜、化合物膜、傾斜膜、多層膜など
- 装置開発、改造、コストダウン,密着性,アーキング（異常放電）などのトラブル対策まで
- お気軽にご相談ください。
日刊工業新聞社より「現場のスパッタリング薄膜 Ｑ＆Ａ」第２版を出版しました。437ページ3560円税込みです。初版に比べて、プラズマ密度の測定、ロータリーカソードなどの追加、および新しく”未来へ”という項目で、今後のスパッタ膜の可能性を考えてみました。
この本は、初めてスパッタリングで薄膜の作製をしたり開発する方のための手引書として、また薄膜技術者の参考書として利用して頂けるように具体例をたくさん載せました。
現場にいれば、失敗から学ぶことも多いと考えて、敢えて失敗例も加えました。
本の内容についてのご意見、ご質問がありましたら、お気軽にご連絡ください。
ご連絡お待ちしております。 earth-tech@r9.dion.ne.jp 小島宛
コンサルティング料金に関しましては、
ご要望内容によって、ご希望を相談させていただきます。
スパッタ技術をもっと活用して頂き、多少の社会貢献もできたら良いかと思っております。
どうぞお気軽にご相談ください。
スパッタ装置を初めて扱う方、生産上でのトラブルで困っている方、革新的なスパッタ方式を考えたい方など.....
歓迎します。
オープンイノベーションが注目されています。グローバル市場での競争の激化、消費者ニーズの早い変化に対応するために、従来型の自前主義の閉鎖的方法ではなく、必要な研究開発能力、技術、を広く外部市場から調達し効率的なイノベーションを目指すいわゆるオープンイノベーションが世界の潮流となってきています。これらの動きに、貢献することが、目標です。
スパッタリングのキーワード
スパッタを行うに際して生じる重要な現象や、スパッタで用いる電源など最近の動向を踏まえてスパッタのキーワードを選んでみました。ロールコーターは、フィルム基板に必要ですし、開発補助手段として、シミュレーションの活用も期待されています。
トピックス：スパッタリングと密着性向上
薄膜コーティングにおける密着性は、製品化する場合に大変重要なコンテンツです。コーティングは、基板の表面に薄膜をスパッタして作成し、様々な機能を付加することで、新たな価値を創成します。そこで密着性が悪く剥がれてしまったら、コーティングの役割は果たせませんし、価値が無くなってしまいます。生産現場にて、密着性を向上する、密着性を維持した安定な生産条件を構築することは、コーティング製品の必須条件です。
密着性を向上するポイント
①基板、ターゲット及びチャンバー内の清浄化
②基板と膜の相互作用の最大化 物理的なアンカー効果、化学的な反応による結合効果
③薄膜全内部応力の最小化
これ等のポイントを考えながら、密着性を向上するスパッタプロセス条件を検討します。スパッタ条件は、多くの場合にトレイドオフの関係にあります。使用する装置のコンポーネント（電源、カソード、アノード、ガス配管、排気ポンプ、モニター、基板搬送機構など）の最適化を図りながら、スパッタ条件を決定します。また、アーキング（異常放電）には、注意が必要です。ターゲットなどに、痕跡がないかチェックしたら良いかと思います。
「スパッタ何でも相談室」会員募集中
スパッタを用いた日常業務のなかで、「ちょっと困った」ことがあるかと思います。品質管理、開発中でのトラブルなど、スパッタや真空蒸着などで、ちょっと困ったけどもどうしたらよいか分からない・・そんな悩みごとをサポートできたらと思います。コロナ禍で対面での打ち合わせが制約される中、よろしければ活用ください。
＊内容は、すべてメールでのやり取りになります。
＊費用は、1万円/月 になります。
＊随時入会可能です。初めての入会時は、6か月以上、月単位でいつでも延長、退会可能です。
＊必要でしたら、守秘協定を結びます。
下記のような申込書（書式自由）をお送りください。
「スパッタ何でも相談室」申込書
「スパッタ何でも相談室」への加入を申し込みます。
＊2022年○○月〇〇日
＊会費１万円/月（消費税別）は、下記指定口座に振り込みます。
＊会社名
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振込先 三菱UFJ銀行 大和支店 普通口座 1270437
有限会社アーステック 代表 小島啓安
| 反応性スパッタでの高速成膜制御の応用例/ |
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光学膜 レンズ、プリズムなどに使う反射防止膜、フィルターなどの光学膜は、基板がガラスから樹脂に変わりつつあります。レンズなどに使う透明で硬いプラスチックは、ガラス転移点が低く、低温での成膜が必要です。光学膜は、従来、蒸着プロセスが主流でしたが、低温で密着性の良いスパッタ膜へ変わりつつありますが、従来のスパッタ方式では、成膜速度が遅く、基板温度上昇が大きな問題となります。PEM（プラズマエミッションモニター（コントローラー））を用いた高速成膜方法は、基板温度を上げずに、密着性の良い膜を作成可能です。 |
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装飾用膜 時計、デジタルカメラや、携帯電話など多くの商品でその外観に、鮮やかな色が求められています。PEMを使った方法としては、２通りあります。一つは、ZrNx,TiNx膜などの窒化物を使って、遷移領域制御によりその化学量論性を高めて、この膜のxを１．０に近づけて金色を出す方法、２つ目は、金属膜の上にTiO2などの透明膜をつけ、２層にして干渉色を使う方法です。この場合には、透明膜の厚さを変えれば、多くの鮮やかな色が出せますが、膜が厚いために高速に成膜出来ることが、コスト、基板温度の面で鍵となります。 |
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透明導電膜 タッチパネルや有機ELなど市場が広がっています。ITOを例にとりますと、２通りあります。１つは、ITOターゲットを使う場合、比抵抗値を最適に保つためのO2ガス導入の自動化です。酸素空孔量を制御するために、O2ガスを微量導入しますが、ターゲットのIn発光値を用いてO2量を制御することにより達成します。２つ目は、ITターゲットを使った高速成膜です。TiO2膜やSiO2膜と同様に金属の発光（ここではIｎ）を制御することにより、遷移領域制御してITO膜を高速成膜します。 |
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バリア膜 プラスチック基板を用いて、有機ELなどのフレキシブル化を行うには、水、酸素などのバリア膜が不可欠です。透明バリア膜には、SiOxNy膜のような多元の組成が有望視されていますが、このような膜の高速化も可能です。またSiO2膜からSi3N4膜に徐々に変化する傾斜膜も有効と考えられますが、導入するガス組成をO2からN2に徐々に変えることで出来ます。密着性も重要です。そこで内部応力を減らすために、ポリマーなどを挟んで多層化も行います。多層化は、ピンホールなどの膜欠陥による貫通を防ぐためにも必要です。 |
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光触媒膜 TiO2膜のアナターゼ型の結晶構造が必要とされています。触媒活性を出すには、結晶粒が小さく、酸化還元の程度が重要となります。TiOｘ膜のxの値を制御するのに、遷移領域制御が有効です。プラズマ発光で制御する発光のポイントを変えることで、xの値を微量調整することが可能となります。 |
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ハードコーティング膜 ドリルやバイトなどに用いられるハードコーティングでは、密着性と同時にコストが重要です。密着性の向上には、スパッタ粒子エネルギーを増大するためのパワーアップ、コストダウンには、高速化が必要になります。 |
| ＧＥＮＣＯＡ社（プラズマエミッションモニター：PEM)製品のお問い合わせ |
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技術、仕様： アーステック 電話 080-8083-2403 または
見積、注文： 富士交易 菊地 電話 03-3274-2312
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- 日刊工業新聞社：２００８年８月「現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ」の本を出版。３８４ページ ３１５０円（税込） 小島啓安著
- 真空ジャーナル：２００８年１月号（Vol116）に、特集記事「高速スパッタリング」の解説
- （株）情報機構：２００７年８月「ディスプレー光学部材における薄膜製造技術」に、「スパッタリングにおけるトラブル対策」執筆
- （株）技術情報協会：２００７年７月「ぬれと（超）撥水、（超）親水技術、そのコントロール」に、「大気圧プラズマ親水化処理によるＦＰＤ基板洗浄技術への応用」執筆
- コンバーテック ２００８年１０月号「現場に見るスパッタ法による薄膜化技術と応用」 など執筆掲載
- （株）技術情報協会２００９年１月「スパッタ実務Ｑ＆Ａ集」 反応性スパッタ、ターゲットなどに関するＱ＆Ａ執筆
- 加工技術研究会 ２００９年１０月 「新コーティングのすべて」に 「現場に見るスパッタ法による薄膜化技術と応用」執筆
- シーエムシー出版 ２０１１年３月「ロールtoロール技術の最新動向」に「ロールtoロールスパッタプロセスにおける成膜速度の向上」執筆
- シーエムシー出版 ２０１１年４月 「最新ガスバリア薄膜技術」に「反応性高速スパッタ技術」執筆
- サイエンス＆テクノロジー ２０１２年８月「フィルム加工トラブル対策技術」に「スパッタリングにおける成膜過程の問題」執筆
- （株）技術情報協会２０１３年４月「フィルム成型・加工とトラブル対策」に「ロールtoロールプロセスにおける成膜速度向上と膜欠陥への対策」執筆
- （株）技術情報協会２０１３年６月「光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」に「反応性高速スパッタ法による光学薄膜の作製技術と膜質制御」執筆
- 表面技術協会２０１３年７月特集「最近のスパッタリング動向」に「低ダメージのためのロータリーカソード技術と高速成膜技術」を執筆
- 日刊工業新聞社：２０１５年２月「現場のスパッタリング薄膜Q&A」第２版を出版。４３７ページ ３５６０円（税込）
- 表面技術協会２０１６年１２月特集「車載用カメラの反射防止膜技術」を執筆
- 表面技術協会２０１７年１２月特集「最新のPVD技術」執筆
＊＊＊＊＊昨年の春、神奈川県立花菜ガーデンにて＊＊＊＊＊
今月の話題ということで、毎月スパッタ、プラズマ、薄膜について関連したテーマを取り上げ紹介するコーナーを作りました。内容としては、本、論文、トピックス、スパッタに関する技術用語などを考えています。スパッタの初心者にも役立つかと思います。
ここでは概略を記載し、ブログには少し詳しく書きたいと思いますので、興味のある方は、どうぞブログにもお立ち寄りください。
今月から、スパッタに関する技術用語を解説していきたいと思います。
1回目は、
アーキング （異常放電）です。
この現象は、DCスパッタにおいて、Al膜のスパッタをしているとき、あるいは反応性スパッタにおいて、金属ターゲットを用い反応性ガスを加えた化合物膜、特に酸化物膜を成膜しているときによく生じるトラブルです。通常のスパッタでは、生産性を上げるために、設定電力値を少し無理して上げた場合などにも生じます。
現象としては、ターゲットとアノード間、ターゲット上の非エロージョン部に堆積した＋電荷とターゲットに加わっている－電荷との短絡などによって大電流が流れ、スパッタ膜の溶解、ターゲットの割れや溶解が生じて、膜やターゲットが大きなダメージを受けることです。この場合には、大きな生産上のロスになるだけでは無く、Si、Crなどの脆いターゲットの場合には、割れたり、欠けたりしてターゲットが使えなくなる場合もあります。
ブログに、この項で紹介しましたスパッタ技術用語についてもう少し詳しく書きたいと思います。興味のある方は、見てください。
Up dated 2022.1.14