所在地

〒２４３－０４０６神奈川県海老名市国分北４－５－２１

TEL　０８０－８０８３－２４０３　

e-mail: earth-tech@r9.dion.ne.jp

ホームペイジ https://www.dry-coating.jp/

資本金　３、５００、０００円　設立　２００３年５月

 

代表取締役

小島啓安

 

取引銀行

三菱UFJ銀行　大和支店　

 

 小島啓安略歴

 

⁂アーステック設立まで

＊１９７７年　東京都立大学　大学院工学研究科　工業化学専攻　修士課程修了

 

＊キャノンに５年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。また、旭硝子に１２年間在籍し、建築用、自動車用、電子基板用硝子のスパッタ、イオンプレーティングプロセス、膜開発に従事する。独国　フラウンホーファー研究所の日本への技術移転会社などを経て、２００３年に独立。スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として（有）アーステックを設立。

 

⁂アーステック設立以降　

＊２０１２年　名古屋大学より博士(工学）取得　名古屋大学客員教授

 

＊スパッタコンサルとして、活動を始めてからTOPページにありますように、２００８年に第１版「現場のスパッタリング薄膜Q&A」を日刊工業新聞社から出版いたしました。その後、読者からの要望もあり、ロータリーカソード、プラズマ密度の測定、今後のスパッタ技術の未来、の項を追加し一部整理して、２０１５年に第２版を出版しました。

＊スパッタリングについての復習を兼ね、また多くの特に現場で活躍している薄膜技術者への支援になれればと考えました。スパッタ技術は、構成要素であるカソード、アノード、電源、制御系、ガス導入系などの要素技術の理解が重要ですので、各要素技術別に分解して、機能を解説できたかと思います。この方法は、多くの方の好評を得られたように思います。

＊当初、ディスプレーに関する大面積プラスチックフィルム（特にPET）への透明導電膜、有機ELへの保護膜などへのロールコーターを用いた技術開発及びトラブルシューティングの依頼が多くなりました。

特に保護膜のニーズにこたえるためには、基板の耐熱性が低い場合が多く、かつ酸化物、窒化物の膜厚を考慮すると反応性高速成膜技術が不可欠になりました。低ダメージ、大面積均一膜のニーズです。

＊フレキシブル回路基板へのニーズからポリイミド膜へのCu膜作成、品質向上などのテーマがありました。ここで、アーキング防止、コストダウン等のニーズからロータリーカソードへのニーズ、導入が行われ支援を行いました。

他のニーズでは、基板の種類としては、プラスチックフィルムが多かったですが、小型プラスチック基板、ガラス、セラミック、鉄などもあります。

＊様々なコンサル依頼がありましたが、変わった依頼としては、スパッタ膜を粉状にして、ターゲット材料や化粧品材料などに使われる例もありました。

＊最近の傾向としては、各種基板（プラスチック樹脂、ガラス、セラミックなど）に対する薄膜の基本である密着性の問題が多くなっているように感じます。膜剥がれなどの原因としては、各ユーザーにより実に様々な要因がありました。今後もこの密着性に係るコンサル依頼が多いのではないかと予想しております。基板の洗浄、成膜条件（化学的反応を利用した結合力、物理的なエネルギーを利用した相互反応）、全内部応力の低減（ハードコーティングは、例外です）が基本ですが、意外な装置プロセス上の問題点が見つかる場合も多いです。基本に忠実にスパッタ装置を組み上げ、プロセス条件を煮詰めることがやはり重要かと思います。密着性に関しては、「密着性のあれこれ」として、解説をしました。興味がある方は、チェックしてみて下さい。

 

＊また、実験データシートを使って、データの集積、ファイル化によるスパッタ技術やノウハウの社内での蓄積及び活用が大切かと思います。その結果として、特許などへと繋がればよいかと思います。

 

＊スパッタ技術は、モノづくりのキーテクノロジーの一つであると考えています。身近な相談員としてご利用頂ければ幸いです。

 

 

 

マイプロフィール

 

テニス：毎週１回テニススクールに行っています

山　：最近は、栗駒山とか、福島、長野などで紅葉を撮りたいときのみ、登っています。

📷：キャノンM5というミラーレスで再開しました。花と紅葉の撮影が中心でしたが、ちょっと他の被写体を物色中です。

温泉：近所の日帰り温泉と伊豆、甲府、群馬辺りが多いです。

焼き物：沖縄の壺屋焼が好きで使っています。備前焼も少しありますが、本棚の中に飾ってあります。

酒：基本は、種類をいとわず飲みますが、量は減らしています。日本酒の熱燗としては、真澄が好みです。

カラオケ：カルチャーセンターで、チャレンジ始めました。

寺：三室戸寺（紫陽花）、永観堂（紅葉）、天竜寺（庭、嵯峨野の竹）、霊仙寺（薔薇）、吉祥寺（シラネアオイ）

はな１：枝垂桜（原谷苑）、ネモフィラ（ひたち海浜公園）、藤（あしかがフラワーパーク）、牡丹（須賀川牡丹園）

はな２：薔薇（河津バガテル公園、アカオハーブ＆ローズガーデン）

はな３：ラベンダー（ファーム富田）、逆さもみじ（円通院）、紅葉（栗駒山）

ことば１：アノネ　がんばんなくてもいいからさ具体的に動くことだね（相沢みつを）

ことば２：しぐるるやしぐるる山へ歩み入る（種田山頭火）

ことば３：前向きにと駐車場にも励まされ（詠み人知らず）