フルエロージョンカソードは、内部の磁石を高速回転することで、エロージョンを広げています。エロージョンを広げることで、ターゲットの利用率が上がり、さらにアーキングの発生を減らす効果も期待できます。

平面型のターゲットを使うためにターゲットコストも安い、膜厚分布が良いのが特徴です。

用途は、酸化物膜、窒化物膜の高速成膜用、特に高い材料や反応性スパッタのカソードとして優れています。

タッチパネル、光学薄膜、太陽電池用などとして使われています。

矩形型の例です。矩形型の場合には、いくつもの磁石を中で回転させる方法になります。

長さ２ｍ程度のカソードも可能です。