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反応性スパッタの利用


 反応性スパッタで作られる化合物と反応性ガス

 左の表は、化合物膜の種類と用いる反応性ガスの種類を示した一例です。スパッタ用Arガスに加えて、酸化物膜には酸素、窒化物膜には、窒素、炭化物膜には、各種の有機ガスを加えて用いています。

この様に、反応性ガスとして、酸素、窒素、有機ガスを加えて、各種化合物膜を作製する方法を、反応性スパッタと呼びます。

 

反応性スパッタでは、金属ターゲットを用いるので、電源はDC電源、パルス電源で利用可能であり、大型化が容易になります。

 

反応性スパッタを用いると多くの新規の膜が比較的容易にできますので、今後の用途は大きく広がる期待があります。

 

 

 

 


薄膜材料の種類と用途

 左の表は、各種の用途とそこで用いられている膜の種類の一例です。

金属膜、合金膜が多いですが、反応性膜で作成可能な各種膜が多いことが分かります。

 

反応性スパッタでは、金属ターゲットを用いますが、合金ターゲットを利用する場合もあります。その場合は、さらに新規の材料を利用できますので、新しい膜の開発が、比較的容易に可能となります。

 

スパッタ条件を変えることで、膜の構造制御も可能になりますので、今後の用途は大きく広がることを期待しております。

 

化合物膜の作成は、成膜速度が低いという課題があります。そのため、産業的には、高速成膜制御が大変有効で、重要な要素となります。

 

 

 

 

 


上記の表は、現場のスパッタリング薄膜Q&A 第2版 12ページに載っています。関心のある方は、覗いてみてください。

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