プラズマエミッションモニターは、モニターと言ってもコントローラーであり、プラズマの発光を利用してO2ガスを制御し成膜速度を高速に維持してくれます。

材料によりますが、同一装置において約５～９倍程度になります。

スピードフローは、４チャンネルあり、４台の装置、あるいは１台の装置にて、４箇所まで、制御できます。

プラズマエミッション制御、インピーダンス制御、その他四重極型ガス分析器を用いたガスコントローラーなどにも使えます。

デュアルの大型ターゲットが放電しており、それをセンサーで見ている図です。

 センサーヘッドは、ターゲット面に平行に置き汚れは付きにくいですが、SUSパイプで出来ており容易に交換可能です。

 ターゲットが１．５m以上もあるような大型基板の場合には、膜厚分布が出ないように、センサーヘッドを増やします。図はターゲットを３分割して３箇所にセンサーを設置した例です。

PETフィルムなどのフレキシブル基板にSiO2膜などを大面積で均一に高速成膜するのに、必須技術です。

タッチパネルなどに使われています。