丸型カソード例

反応性スパッタでは、デュアルカソードを使わない場合、即ち通常用いられているシングルカソードの場合には、アノード消失という状態がありえます。そのための対策としてヒドンアノードと言う別のアノードを設けます。。

カバーの内側に入れてあるため、少し大きめになっています。

矩形カソード例

カソードの一番外側に付いているの

が、見えます。

２番目の例にありますが、フィンのような形にして、中に絶縁膜が付着しにくいようになっています。

詳しくは、「現場のスパッタリング薄膜Q&A」日刊工業新聞社を見てください。